[8a-Z05-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[8a-Z05-11] 層状窒化炭素薄膜の配向性およびC-Nシート構造

〇羽渕 仁恵¹、飯田 民生¹ (1.岐阜高専)

キーワード：窒化炭素, 層状構造, X線回折

メラミンを原料とした気相成長法により合成した窒化炭素薄膜について炭素と窒素が結合したC-Nシートの構造とそのシートが作る層の配向性についてX線回折を用いて分析した。θ/2θスキャンでは27.77°と57.3°にピークが現れ、極点測定から回折面は基板に平行であることがわかった。インプレーンスキャンにより(hk0)のみの回折パターンを測定し、C-Nシートの構造を検討した。