[8a-Z05-1~11] 6.2 Carbon-based thin films

[8a-Z05-7] Thermal stability of diamond-like carbon on silicon steel

〇(M1C)Iori Mihara¹, Hiroki Kuwabara², Shigeru Annaka², Toshiro Hayashi³, Tetsuya Haruyama³, Kenji Hirakuri¹ (1.Tokyo Denki University, 2.NAKADAI Metals Co., 3.P.S.TOKKI Co.)

Keywords:diamond like Carbon, electrical insulation, heat resistant

現在、モータの構成要素である積層コアの絶縁層には、エポキシ塗装によるコーティングが施されている。しかし、エポキシコーティングの膜厚は約0.1～0.5mm程度あり、微細な電子部品の絶縁層としては極めて厚い。そこで、電気的絶縁性を持つDLCコーティングを応用し、薄膜化を目指した。長時間の使用により電子機器内部では発熱する場合がある。電子部品の絶縁層には耐熱性および電気絶縁性能が求められる。