[8a-Z05-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[8a-Z05-7] ケイ素鋼板へコーティングしたDLC膜の耐熱性

〇(M1C)三原 伊織¹、桒原 大樹²、安中 茂²、林 俊郎³、春山 哲也³、平栗 健二¹ (1.東京電機大学、2.株式会社仲代金属、3.ピーエス特機株式会社)

キーワード：DLC, 電気絶縁性, 耐熱性

現在、モータの構成要素である積層コアの絶縁層には、エポキシ塗装によるコーティングが施されている。しかし、エポキシコーティングの膜厚は約0.1～0.5mm程度あり、微細な電子部品の絶縁層としては極めて厚い。そこで、電気的絶縁性を持つDLCコーティングを応用し、薄膜化を目指した。長時間の使用により電子機器内部では発熱する場合がある。電子部品の絶縁層には耐熱性および電気絶縁性能が求められる。