[8a-Z05-1~11] 6.2 Carbon-based thin films

[8a-Z05-9] Effect of plasma frequency on electrical properties of nitrogen containing DLC films for CVD technique

〇(M1)Akihiko Kawakami¹, Akihiko Homma¹, Kenji Hirakuri¹, Yasuharu Ohgoe¹ (1.Dendai Univ.)

Keywords:Diamond-like Carbon film

ダイヤモンド状炭素 (DLC: Diamond-like Carbon film) 膜は，sp²構造とsp³構造が混在する非晶質炭素膜の一つである．DLCは不純物ドープにより物性が変化することが知られ，シリコンドープDLC（Si-DLC）の基板との密着性や耐酸化性，添加物との反応性の向上などが報告されている．また，窒素ドープDLC（N-DLC)は，導電性向上特性を生かした電極材料などへの応用が期待されているが，実用化には抵抗率の高さが課題である．そこで本研究では，プラズマ周波数におけるN-DLCの電気特性の制御を目的として，13.56 MHz（RF：Radio Frequency）と29.6 kHz（LF：Low Frequency）電源を用いて成膜したN-DLCについて，電気特性の比較検討を行う．