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[8a-Z06-3] 常温異種材料接合におよぼす界面酸化物の効果
キーワード：表面活性化接合, 酸化皮膜, 異種材料
表面活性化接合法は常温接合技術の一つであり，真空環境中で接合する２つの材料の表面に存在する自然酸化皮膜を高速原子ビームで除去し活性化させ，２つの材料の活性面同士を接触させることで接合が可能になる．これは，材料の温度を上昇させることなしに，異種金属材料を接合できるが，酸化皮膜の存在が接合を左右する．そこで本研究では，表面の酸化物が表面活性化接合に及ぼす影響を評価した．