[8a-Z09-1~10] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

△ [8a-Z09-9] 単結晶シリコン(111)へき開面ナノギャップ間の熱輸送測定

〇(D)霜降 真希¹、平井 義和¹、土屋 智由¹ (1.京大工)

キーワード：近接場放射伝達, ナノギャップ, 熱電子発電

小温度差動作の熱電子発電素子への応用が期待されるナノギャップを，MEMSデバイスを用いて単結晶シリコンのへき開により作製し，静電アクチュエータによりギャップ間隔を縮小しながら熱輸送測定を行った．ギャップ接触後も駆動力を増加させると，著しい熱輸送量増大が見られた．接触熱伝導は十分小さいと見積もられたため，近接場放射伝達のギャップ間隔依存性が測定できたものと考えている．