[8a-Z11-1~10] 12.4 Organic light-emitting devices and organic transistors

△ [8a-Z11-10] Elucidation of a VUV-light-triggered process for wet coated PHPS films with high barrier property

〇Tatsuki Sasaki¹, Kaho Uemura¹, Lina Sun², Tatsuhiro Takahashi¹, Yoshiyuki Suzuri² (1.Dep. Org. Mater. Sci., Yamagata Univ., 2.INOEL, Yamagata Univ.)

Keywords:organic light-emitting diode, wet coated barrier film, flexible device

塗布プロセスで作製できるポリシラザン（PHPS）薄膜は、VUV光焼成で膜表面に緻密層が形成されることでバリア性が著しく向上するため、塗布型TFE封止構造のバリア層として近年期待されている。しかし、VUV光焼成による緻密層の形成プロセスの詳細は未だ明らかになっていない。本講演では、VUV領域における吸収スペクトルやその他種々の測定によりPHPS薄膜表面における緻密化プロセスついて考察する。