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[8a-Z16-1] TEモード半導体光アイソレータ集積に向けたInPリングレーザの作製と評価
キーワード:InP, リングレーザ
リング共振器は、波長分割多重通信における波長選択やへき開不要のリングレーザに応用できる重要なデバイスの一つである。これまで、曲げ導波路の半径を低減できるハイメサ導波路と整合性のよいTEモード導波路光アイソレータとの集積プロセスを提案し、半径50μmのリング共振器において完全結合長62μmの共振特性を得た。本研究では、リング共振器に電流注入構造を設け、発光スペクトル及びリング共振による発振を確認したので報告する。