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△ [8a-Z16-9] 共振器集積導波モード共鳴素子による狭帯域集光再帰反射
キーワード:光導波路, 波長フィルタ, 導波路グレーティング
共振器集積導波モード共鳴フィルタ(CRIGF)は,基板上導波路にグレーティングカップラ(GC)と2つの分布ブラッグ反射器を集積して構成され,狭帯域反射特性を示す。本研究では,反射性基板と集光GCを用いたCRIGF(集光CRIGF)を提案、設計し,発散光入射に対して狭帯域な再帰集光を示すことを実験的に確かめた。開口20ミクロン,焦点距離50ミクロンの集光CRIGFを作製し,ピーク反射率80%以上,半値全幅4 nmの狭帯域スペクトルを得た。