[8a-Z17-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

△ [8a-Z17-4] 縦振動を用いた薄膜の正逆圧電応答同時評価法の提案

〇(D)舘山 明紀¹、伊東 良晴¹、清水 荘雄^1,2、折野 裕一郎¹、黒澤 実¹、舟窪 浩¹ (1.東工大、2.物質材料機構)

キーワード：圧電体, 水熱合成, KNN

我々は、縦振動（長手方向の伸縮）を用いた逆圧電応答と正圧電応答の同時測定による圧電定数評価法を提案する。この評価法は、短冊状に加工した圧電薄膜の片端に駆動用の電極を、もう一端にセンサ用の電極を作製し、中央保持・両端自由の境界条件で、駆動用電極に交流電圧を印加し縦振動共振させる手法である。
評価試料は、水熱合成法で作製した分極処理を必要としない自己分極膜である(K,Na)NbO₃膜を用いた。