[8a-Z17-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[8a-Z17-5] ガラス基板上のPb(Zr, Ti)O₃圧電薄膜作製

〇(M2)上田 一貴¹、肥田 博隆¹、神野 伊策¹ (1.神戸大工)

キーワード：圧電薄膜, ガラス基板, Pb(Zr, Ti)O3

Pb(Zr, Ti)O₃ (PZT)圧電薄膜は高い圧電性を有する材料であり，通常Si基板上に成膜することで様々なMEMSデバイスへの応用が検討されている．一方，ガラス等の透明基板上にPZT薄膜を成膜することでタッチパネルやスマートウィンドウといった光学デバイスへと応用することが期待されている[1]．本研究では，透明電極膜がコーティングされたガラス基板上にPZT薄膜の成膜を行い，その電気特性または圧電特性を評価した．