[8a-Z18-1~11] 9.4 熱電変換

[8a-Z18-5] Ca-Mg-Si三元系熱電材料におけるSi含有量変化に伴う導電型の制御

〇片桐 淳生¹、上原 睦雄¹、黒川 満央¹、秋山 賢輔^1,2、松島 正明¹、内田 寛³、木村 好里¹、舟窪 浩¹ (1.東工大院、2.神奈川県産業技術センター、3.上智大)

キーワード：熱電材料, シリサイド, 薄膜

有望な熱電材料であるMg₂Siの組成を拡張し、Ca-Mg-Si三元系材料について検討した。同材料はスパッタリング法により作製され、ターゲットの組成比を調節することにより種々のSiの含有量を検討したところ、導電型の制御に成功したので報告する。