[8a-Z20-1~13] 3.3 情報フォトニクス・画像工学

[8a-Z20-10] 近接する２つの波長での並列位相シフトディジタルホログラフィーを用いたはんだバンプの高さ計測

〇石垣 裕之^1,2、二村 伊久雄¹、間宮 高弘¹、早崎 芳夫² (1.CKD株式会社、2.宇都宮大学)

キーワード：高さ計測, 近接2波長

数10μmの段差計測が可能な、波長差が数nmの近接する２波長を同時撮像可能なディジタルホログラフィーのための光学系を提案し，バンプ計測に有効であることを確認しました．光学倍率が高くなると，対物レンズと，off-axis法に必要なキャリア縞を発生させるために傾けた参照ミラーとが干渉し，キャリア縞のピッチを小さくすることが困難となるので，本提案では偏光カメラを用い，並列位相シフト法を用いることで，キャリア縞を必要としない計測システムとし，バンプの高さ計測を行った結果を示しました．