The 81st JSAP Autumn Meeting, 2020

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Oral presentation

22 Joint Session M "Phonon Engineering" » 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

[8p-Z09-1~18] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

Tue. Sep 8, 2020 1:00 PM - 6:30 PM Z09

Takanobu Watanabe(Waseda Univ.), Takahiro Yamamoto(Tokyo Univ. of Sci.), Takao Mori(NIMS), Koji Miyazaki(Kyushu Inst. of Tech.)

3:15 PM - 3:30 PM

[8p-Z09-8] Heat Transport on Mo/HfO2/Mo Three-layered Thin Films

〇Yuichiro Yamashita1 (1.AIST)

Keywords:nanoscale heat transport, time-domain pulsed light heating thermoreflectance technique, thermophysical properties for thin film

金属/対象薄膜/金属の3層構造試料では、中間層厚さがおよそ5～10 nmを境に界面熱抵抗が消失するかのように試料全熱抵抗が減少する特異な熱輸送が現れる。本報では、裏面加熱-表面測温型の時間領域パルス光加熱サーモリフレクタンス法を用いて、Mo薄膜で挟まれた高誘電率材であるHfO2に対して特異な熱輸送の発現開始厚さを調べた。