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△ [8p-Z12-1] 乳酸分布と水素イオン分布を同時に可視化可能なマルチモーダルイメージセンサの製作
キーワード:乳酸, 水素イオンイメージセンサ, マルチモーダル
画素ピッチ2µmの水素イオンイメージセンサ上に乳酸感応部として機能するAu/Ti薄膜を6µm間隔でアレイ状に形成したマルチモーダルイメージセンサを製作し,乳酸及び水素イオン拡散の応答を検討した.結果,乳酸感応部の出力感度は50mV/dec,水素イオン感応部の出力感度は65mV/pHであった.さらに本センサは乳酸と水素イオンを従来型の37.3µmピッチより高解像度でイメージングできることを実証した.