[8p-Z17-1~12] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [8p-Z17-5] Low-temperature deposition of (Bi,K)TiO₃ films by hydrothermal method

〇(PC)Yoshiharu Ito¹, Akinori Tateyama¹, Yu Huang¹, Rurika Kubota¹, Minoru Kurosawa¹, Hiroshi Funakubo¹ (1.Tokyo Tech.)

Keywords:Hydrothermal synthesis, Lead-free ferroelectric matarials, Thin films

水熱合成法を用いた薄膜合成法は、近年、非鉛強誘電体材料にとって有用なプロセスである。これは低温プロセスを利用した揮発元素の制御および他段階の相転移温度以下のプロセスによるクラック生成を妨げることが可能だからである。また、このような低温合成プロセスは、ポリマーシートなどのフレキシブル基材上への製膜の可能性が期待される。
本発表では、我々がこれまでに水熱合成法を用いて作製に成功した（Bi,K)TiO₃薄膜について、100℃までの低温合成の可能性を明らかにした結果を報告する。