[8p-Z17-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

△ [8p-Z17-5] 水熱合成法を用いた(Bi,K)TiO₃薄膜の低温製膜

〇(PC)伊東 良晴¹、舘山 明紀¹、黄 宇¹、窪田 るりか¹、黒澤 実¹、舟窪 浩¹ (1.東工大)

キーワード：水熱合成, 非鉛強誘電体, 薄膜

水熱合成法を用いた薄膜合成法は、近年、非鉛強誘電体材料にとって有用なプロセスである。これは低温プロセスを利用した揮発元素の制御および他段階の相転移温度以下のプロセスによるクラック生成を妨げることが可能だからである。また、このような低温合成プロセスは、ポリマーシートなどのフレキシブル基材上への製膜の可能性が期待される。
本発表では、我々がこれまでに水熱合成法を用いて作製に成功した（Bi,K)TiO₃薄膜について、100℃までの低温合成の可能性を明らかにした結果を報告する。