[8p-Z18-1~16] 9.4 熱電変換

[8p-Z18-5] [第4回薄膜・表面物理分科会論文賞受賞記念講演] 界面制御した透明 ZnO 薄膜における熱電出力因子増大

〇石部 貴史¹、留田 純希¹、渡辺 健太郎²、鎌倉 良成³、森 伸也⁴、成瀬 延康⁵、目良 裕⁵、山下 雄一郎⁶、中村 芳明¹ (1.阪大院基礎工、2.信州大、3.大工大、4.阪大院工、5.滋賀医科大、6.産総研)

キーワード：熱電変換, 酸化物半導体, ナノ構造

熱電性能向上には、高い出力因子と低い熱伝導率の同時実現が求められる。近年、ナノ構造の導入により、劇的な熱伝導率低減が可能になったが、出力因子が低下してしまい、不十分な熱電性能に留まる。本研究では、安価・無毒な透明ZnO薄膜中にドーパント濃度変調界面を有するZnOナノワイヤを導入することで、界面フォノン散乱による熱伝導率低減に加えて、高エネルギー電子の選択的伝導による出力因子増大を実現することを目的とする。