[8p-Z18-1~16] 9.4 Thermoelectric conversion

[8p-Z18-9] N-type control of solid-phase crystallized Ge thin film using spin-on-glass and its thermoelectric application

〇Tomoki Ozawa¹, Toshifumi Imajo¹, Takashi Suemasu¹, Kaoru Toko^1,2 (1.Univ. of Tsukuba, 2.JST PRESTO)

Keywords:flexible thermoelectric, spin-on-glass, germanium

我々は絶縁基板上Ge固相成長において，加熱堆積により前駆体密度を制御することで，p型Ge膜の高移動度化を実現した．さらに，堆積中にn型ドーパントを添加することで，低温多結晶Ge薄膜として最高の電子移動度も達成してきた．本研究では，リン添加スピンオンガラスを用いた簡便な手法でのn型伝導化を検討した．高い電子移動度を持つn型Ge薄膜の形成に成功するとともに，高い出力因子を実証したので報告する．