[8p-Z25-1~13] 【CS.1】 2.4 加速器質量分析・加速器ビーム分析 と 7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

△ [8p-Z25-12] hfac吸着したNiOへのGCIB照射による表面反応

〇(M2)植松 功多¹、豊田 紀章¹ (1.兵庫県立大工)

キーワード：ガスクラスターイオンビーム, 原子層エッチング