[8p-Z25-1~13] 【CS.1】 Code-sharing Session of 2.4 & 7.5

[8p-Z25-2] Evaluation of nanostructures and hydrogen effects in DLC films by slow positron beams

〇(M2)Keisuke Ikeda^1,2, Atsushi Kinomura¹, Nakajima Makoto^1,2, Yoshihiro Kuzuya¹, Atsushi Yabuuchi¹, Setsuo Nakao³, Kotaku Suzuki⁴, Keisuke Yasuda⁵ (1.KURNS, 2.Kyoto Univ., 3.AIST, 4.WERC, 5.Kyoto Pref. Univ.)

Keywords:DLC, positron

低摩擦性など多くの優れた性質を持つDLC薄膜は、医療機器コーティング材にも適した特性を持っておりその応用が期待されている。本研究では、その特性の中で濡れ性に着目し、DLCのナノ構造との相関性を調べる。DLC薄膜に添加する元素、熱処理温度、薄膜中の水素密度を変化させ、濡れ性の測定とERDA法による水素量測定とともに、低速陽電子ビーム測定でナノ構造を評価して、最も特性変化に影響する要因を調べる。