[8p-Z25-1~13] 【CS.1】 2.4 加速器質量分析・加速器ビーム分析 と 7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[8p-Z25-8] 真空エレクトロスプレー液滴イオンのサイズ分布に関する検討

〇二宮 啓¹、川瀬 幹大¹、チェン リーチュイン¹、平岡 賢三¹ (1.山梨大工)

キーワード：クラスターイオン, エレクトロスプレー, 二次イオン質量分析

我々は二次イオン質量分析におけるイオン化効率を大幅に改善させることを目的として、エレクトロスプレーによって発生させた液滴イオンを巨大クラスタービームとして利用するための研究を行っている。本研究では、真空エレクトロスプレー液滴イオンビームを平坦な有機薄膜に照射し、その表面を走査型プローブ顕微鏡で観測した画像から液滴イオンのサイズ分布やそのイオンによるスパッタ体積の評価を行った結果について報告する。