[8p-Z26-1~23] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[8p-Z26-12] 二段階吸着法を用いたアルミナシリケートの室温原子層堆積とイオン吸着応用

森 義晴¹、齋藤 健太郎¹、吉田 一樹¹、三浦 正範²、鹿又 健作²、有馬 ボシルアハマド¹、久保田 繁¹、〇廣瀬 文彦¹ (1.山形大院理工、2.山形大有機材料システム)

キーワード：アルミナシリケート, 原子層堆積法, イオン吸着

ゼオライトの名で知られるアルミナシリケート珪酸塩は、イオン吸着機能があり、水質浄化に用いられる。この主成分はアルミナシリケートであり、アルミニウム原子が4価酸化物のような構造を取り、負に帯電することでイオン吸着機能を持つといわれている。我々はこのアルミナシリケートを薄膜化し、室温で形成する技術を開発した。この膜は、樹脂フィルムに対してイオン吸着、イオン交換の機能、またイオンセンシング機能を与える応用が期待される。本発表では、室温堆積について示し、またイオン交換吸着についても報告し、その応用を議論する。