[8p-Z26-1~23] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[8p-Z26-21] シリカガラスのX線誘起光吸収帯強度のX線浸透深さ依存性

〇南保 健斗¹、谷 和磨¹、春木 晶尋¹、葛生 伸¹、堀越 秀春² (1.福井大工、2.東ソー・エスジーエム)

キーワード：シリカガラス, X線

シリカガラスにX線を照射した際に生じる誘起光吸収帯を調べることでX線照射によって生成された欠陥構造の解明を行っている。本研究では, シリカガラスの薄片を重ねてX線を照射し, 各試料片の吸収スペクトルを測定することで，X線誘起光吸収帯特性の表面からの距離依存性を調べた。