[8p-Z26-1~23] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[8p-Z26-6] アモルファス結晶化を利用した高品質カルコゲナイド薄膜の作製

〇齊藤 雄太¹、フォンス ポール^1,2、コロボフ アレクサンダー^1,3、ミトロファノフ キリル¹、牧野 孝太郎¹、富永 淳二¹ (1.産総研、2.慶応大理工、3.ゲルツェン大)

キーワード：カルコゲナイド, アモルファス, スパッタ法

アモルファス相としてスパッタ成膜したSb₂Te₃やBi₂Te₃といったカルコゲナイド薄膜を結晶化し、高い配向性を持った結晶膜として得る方法について報告する。