[8p-Z27-1~17] 11.5 Junction and circuit fabrication process, digital applications

[8p-Z27-2] Effect of Nb surface oxide composition by Neutral beam on Q value

〇(M1)Taichi Konno¹, Daisuke Ohori¹, Mutsuo Hidaka³, Kazuhiko Endo³, Hiroto Mukai⁴, JAW SHEN TSAI⁴, Seiji Samukawa^1,2,3 (1.IFS, Tohoku Univ., 2.AIMR, Tohoku Univ., 3.AIST, 4.TUS)

Keywords:qubit, superconductivity, niobium

本研究では中性粒子ビームを用いて、Nb表面の酸化膜組成を変化させて共振器のQ値への影響を調べた。Cl₂, 16 Wの場合、Nb₂O₅が減少しサブオキサイドが増加し、SF₆, 0 Wではサブオキサイドは増加しなかった。そこで、Cl₂, 16 WとSF₆, 0 Wの条件で共振器を作製した。後者は前者と比べおよそ10倍高いQ値を得た。以上より、高いQ値の超伝導共振器にはエッチング処理による表面酸化膜組成の制御が重要であることが分かった。