[9a-Z01-1~6] 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

[9a-Z01-1] 大気中MOCVD法によるCdZnS窓層の作製と評価

〇麻生 直暉¹、多喜 萌¹、岡本 保¹ (1.木更津高専)

キーワード：CdZnS, II-VI族化合物

CdSの原料であるジエチルジチオカルバミド酸カドミウム (C₁₀H₂₀CdN₂S₄) とZnSの原料であるジエチルジチオカルバミド酸亜鉛(C₁₀H₂₀ZnN₂S₄) を混合した原料を用いて大気中MOCVD法によりCdZnS膜を成膜した。格子定数は原料比に対して直線的に変化した。また、原料比を変化させると吸収端が変化した。このことから、原料比を制御することによりCdZnSの組成比が制御できることがわかった。