[9a-Z06-1~11] 6.6 プローブ顕微鏡

△ [9a-Z06-2] ケルビンプローブフォース顕微鏡によるマイクロピエゾ抵抗センサの変位・表面電位評価

〇中澤 謙太¹、田中 匠¹、潤間 威史¹、岩田 太¹ (1.静岡大工)

キーワード：ケルビンプローブフォース顕微鏡, MEMS, その場計測

Microelectromechanical Systems（MEMS）は携帯端末等におけるセンサやアクチュエータとして重要な技術である．センサでは機械的な物理量を電気信号に変換するため変換素子の特性を評価する必要がある．しかし，MEMSにおけるミクロな範囲における機械・電気的な計測手法が確立されていないといった課題がある．そこで本研究では，ピエゾ抵抗センサの機械的な挙動である変位と電気的な挙動である表面電位を走査型プローブ顕微鏡を用いて評価することを提案する．