[9a-Z11-1~13] 12.4 有機EL・トランジスタ

[9a-Z11-6] 拡張タイムドメインリフレクトメトリによるOTFTチャネル形成前駆過程の解析

〇酒井 正俊¹、廖 維淞¹、田中 恭平¹、村上 裕章¹、工藤 一浩¹ (1.千葉大院工)

キーワード：キャリア注入, チャネル形成, タイムドメインリフレクトメトリ

拡張タイムドメインリフレクトメトリを用いて、トップコンタクトボトムゲート型のペンタセンTFTにおいて、コンタクト電極からホールの注入が開始されてからチャネルが形成されるまでの過程を10ナノ秒の時間分解能で観測する。今回の講演では、キャリアが膜厚方向に注入されて、ゲート絶縁層/半導体層界面を拡散により広がり始める前までの過程について発表する。