[9a-Z13-1~9] 3.13 半導体光デバイス

[9a-Z13-5] Radio over Fiberのためのアンテナ結合共振電極を有する集積量子井戸微小リング共振器装荷型マッハ・ツェンダー光変調器の提案

〇鎌田 大¹、荒川 太郎¹ (1.横国大院工)

キーワード：光変調器, マイクロリング共振器

本研究室はこれまでパッチアンテナ集積型位相変調器やアンテナ結合共振電極集積型マイクロリング共振器（MRR）光位相変調器を提案，開発してきた． 今回，共振型電極が結合したパッチアンテナの直下に量子井戸MRRを配置したマッハ・ツェンダー光変調器を設計し，有限要素法シミュレータ（HFSS）の電磁界解析により変調特性の導出及び理論解析を行ったので，その結果について報告する．