2020年第81回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.9 化合物太陽電池

[9a-Z15-1~11] 13.9 化合物太陽電池

2020年9月9日(水) 09:00 〜 12:00 Z15

田中 久仁彦(長岡技科大)

09:30 〜 09:45

[9a-Z15-3] スパッタリング法によるn型SnS薄膜の作製

鈴木 一誓1、川西 咲子1、Bauers Sage2、Zakutayev Andriy2、柴田 浩幸1、Kim Minesok3、柳 博3、小俣 孝久1 (1.東北大、2.NREL、3.山梨大)

キーワード:硫化錫, スパッタリング, 太陽電池

SnSはアクセプターとなる欠陥が生成しやすいためn型化が難しい。2016年にハロゲンをドープしたn型SnS焼結体や単結晶が報告されたが、薄膜形態のn型SnSはこれまで報告がなく、ホモ接合素子を実現する上での課題として残されていた。本研究では、アクセプターとなる欠陥の生成を抑制しながら薄膜を堆積することで、高いn型伝導性を有するClドープSnS薄膜を実現した。