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△ [9a-Z15-3] スパッタリング法によるn型SnS薄膜の作製
キーワード:硫化錫, スパッタリング, 太陽電池
SnSはアクセプターとなる欠陥が生成しやすいためn型化が難しい。2016年にハロゲンをドープしたn型SnS焼結体や単結晶が報告されたが、薄膜形態のn型SnSはこれまで報告がなく、ホモ接合素子を実現する上での課題として残されていた。本研究では、アクセプターとなる欠陥の生成を抑制しながら薄膜を堆積することで、高いn型伝導性を有するClドープSnS薄膜を実現した。