[9a-Z15-1~11] 13.9 化合物太陽電池

[9a-Z15-4] RFスパッタ堆積時の水素ガスがSnS薄膜に与える影響

〇中村 駿介¹、任介 太一¹、杉山 睦^1,2 (1.東理大 理工、2.東理大 総研)

キーワード：硫化スズ, スパッタ, 水素ガス