[9a-Z17-1~4] 6.5 表面物理・真空

[9a-Z17-3] 金属・ダイヤモンド界面でのグラファイト化とその剥離によるダイヤモンド表面エッチングの第一原理計算

〇稲垣 耕司¹、Isaac Enriquez John¹、森川 良忠¹、下司 雅章³、道内 真人² (1.阪大院工、2.住友電気工業、3.阪大ナノ)

キーワード：ダイヤモンド, グラファイト化, エッチング

ダイヤモンド（１１１）表面はステップ周辺でグラファイト化するが、下地との強固な炭素間結合により簡単には剥離できない。本研究では第一原理計算により、ダイヤモンド・金属界面で、生成した表面グラファイトと下地との結合が金属原子の触媒作用により比較的容易に切断されることを示すとともに、その界面が分離する際にグラファイトがダイヤモンド表面から脱離することによりエッチングを生じうることを示す。