[9a-Z18-1~10] 3.7 Laser processing

[9a-Z18-10] Multi-photo polymerization of photo-sensitive polymer by GHz burst mode femtosecond laser irradiation

〇Kotaro Obata¹, Francesc Caballero-Lucas¹, Koji Sugioka¹ (1.RIKEN RAP)

Keywords:GHz burst mode, Multi-photon polymerization, femtosecond laser

近年、数百 psの極短い間隔で、ひと続きの連続したパルス列を構成するGHzバーストモードによる材料加工法は、同じ平均出力、繰り返し周波数を持つ通常モードのレーザー加工とは異なる除去効率（単位時間あたりの材料加工除去量）、アブレーション閾値を示すことが報告されている[1,2]。本研究では、このGHzバーストモードでのパルス列を感光性樹脂に照射することにより、非線形吸収によって光硬化を誘起するレーザー照射強度、GHz領域の超高速繰り返し周波数レーザーに対する光硬化反応の応答特性を検討した。