[9a-Z18-1~10] 3.7 レーザープロセシング

[9a-Z18-10] GHzバーストモードフェムト秒レーザーパルス照射による感光性樹脂の多光子光硬化特性

〇小幡 孝太郎¹、カバジェロ ルカス フランセスク¹、杉岡 幸次¹ (1.理研 光量子)

キーワード：GHzバーストモード, 多光子光硬化, フェムト秒レーザー

近年、数百 psの極短い間隔で、ひと続きの連続したパルス列を構成するGHzバーストモードによる材料加工法は、同じ平均出力、繰り返し周波数を持つ通常モードのレーザー加工とは異なる除去効率（単位時間あたりの材料加工除去量）、アブレーション閾値を示すことが報告されている[1,2]。本研究では、このGHzバーストモードでのパルス列を感光性樹脂に照射することにより、非線形吸収によって光硬化を誘起するレーザー照射強度、GHz領域の超高速繰り返し周波数レーザーに対する光硬化反応の応答特性を検討した。