[9a-Z18-1~10] 3.7 レーザープロセシング

[9a-Z18-7] 超短パルスレーザー穴あけの加工速度と品質に及ぼす繰り返しレートとパルス幅の影響

〇吉富 大¹、高田 英行¹、奈良崎 愛子¹、鳥塚 健二¹、小林 洋平² (1.産総研、2.東大物性研)

キーワード：アブレーション, レーザー, 超短パルス

銅・アルミの超短パルスレーザー穴あけにおける加工速度と品質について、パルス幅(0.4 - 200 ps)と繰り返しレート(100 Hz - 1 MHz)に対する広域連続的な依存性を調べた。短パルスでは、ある繰り返しレートの範囲で加工痕周囲の変色が大きくなり、SEM及びEDX観察によると、酸化物のデブリ発生が多いことが分かった。また、加工速度についても繰り返しレートに依存する結果が得られた。