[9a-Z20-1~11] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [9a-Z20-9] 岩塩構造MgZnO薄膜における深紫外PL寿命の評価

〇工藤 幹太¹、石井 恭平²、小野 瑞生¹、金子 健太郎²、山口 智広¹、嶋 紘平³、小島 一信³、藤田 静雄²、本田 徹¹、秩父 重英³、尾沼 猛儀¹ (1.工学院大、2.京大院工、3.東北大多元研)

キーワード：MgZnO, 時間分解フォトルミネッセンス, 深紫外線

深紫外線（DUV）や真空紫外線(VUV)は殺菌や光化学などへ利用されている。固体ベースの発光材料として、岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛（RS-Mg_xZn_1-xO）に注目している。これまでに、ミストCVD法を用いて酸化マグネシウムモル分率x>0.5のRS-Mg_xZn_1-xO薄膜を成膜し、CL測定によるDUV、VUV領域での発光を観測した。本研究では、RS-Mg_xZn_1-xOの時間分解フォトルミネッセンス（TRPL）分光によりPL寿命を観測したため、発光特性改善の観点から報告する。