[9a-Z21-1~11] 【CS.8】 8.3 プラズマナノテクノロジー, 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート, 13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイスのコードシェアセッション

[9a-Z21-1] メタンプラズマCVDを用いたホローカーボンナノ粒子のワンステップ作製

Hao Yuan¹、Hwang Sung Hwa¹、〇古閑 一憲^1,2、鎌滝 晋礼¹、板垣 奈穂¹、中谷 達行³、白谷 正治¹ (1.九大シス情、2.自然科学研究機構、3.岡山理科大)

キーワード：カーボンナノ粒子, プラズマCVD, ホローナノ粒子

本研究ではプラズマ化学気相堆積法を用いて、触媒なし、溶液による後処理なしにホロータイプのカーボンナノ粒子の作製に成功した。