[9a-Z25-1~5] 7.1 X線技術

[9a-Z25-1] 試料回転なしミリ秒Ｘ線CTのためのマルチビーム光学系の開発

〇矢代 航¹、梁 暁宇¹、Voegeli Wolfgang²、荒川 悦雄²、白澤 徹郎³、梶原 堅太郎⁴、工藤 博幸⁵ (1.東北大多元研、2.東京学芸大教育、3.産総研計量標準、4.JASRI、5.筑波大システム情報)

キーワード：Ｘ線, イメージング, 放射光

試料回転なしでmsオーダーのＸ線CTの実現を可能にするマルチビーム光学系を開発した。特殊な形状の薄い単結晶シリコンを微細加工により作製し、双曲面上に湾曲させて、かつ三段に配置することにより、±70°の投影方向をカバーするマルチビーム光学系を実現した。このマルチビーム系を用いて、試料回転なし1 msＸ線トモグラフィの原理検証に成功した。