[9a-Z28-1~11] FS.1 Focused Session "AI Electronics"

[9a-Z28-7] Selection of Experimental Parameters for Resistance Control of Nanogaps Using Bayesian Optimization

〇Ryoya Koyama¹, Riku Kiyokawa¹, Kenta Watanabe¹, Mamiko Yagi², Mitsuki Ito³, Jun-ichi Shirakashi¹ (1.Tokyo Univ. Agr. & Tech., 2.NIT, Ichinoseki College, 3.NIT, Kushiro College)

Keywords:Nanogap, Bayesian Optimization

我々は、エレクトロマイグレーションを利用したナノギャップ構造の抵抗を制御する方法として、アクティベーション法を提案してきた。また、ベイズ最適化によって実験パラメータ探索を行うフィードバック制御を適用することで、一度の通電プロセスでの抵抗制御の検討してきた。今回、抵抗をフィードバックごとに比較する評価関数を設け、ベイズ最適化の目的関数とすることでAuナノギャップにおけるトンネル抵抗の制御性を検討した。