[9a-Z28-1~11] FS.1 フォーカストセッション「AIエレクトロニクス」

[9a-Z28-7] ナノギャップ狭窄化過程における抵抗制御パラメータのベイズ最適化による選択

〇小山 諒也¹、清川 莉玖¹、渡部 健太¹、八木 麻実子²、伊藤 光樹³、白樫 淳一¹ (1.東京農工大院工、2.一関高専、3.釧路高専)

キーワード：ナノギャップ, ベイズ最適化

我々は、エレクトロマイグレーションを利用したナノギャップ構造の抵抗を制御する方法として、アクティベーション法を提案してきた。また、ベイズ最適化によって実験パラメータ探索を行うフィードバック制御を適用することで、一度の通電プロセスでの抵抗制御の検討してきた。今回、抵抗をフィードバックごとに比較する評価関数を設け、ベイズ最適化の目的関数とすることでAuナノギャップにおけるトンネル抵抗の制御性を検討した。