[9a-Z29-1~14] 17.2 グラフェン

[9a-Z29-12] 多層グラフェンの自己組立て

〇後藤 東一郎¹、手島 哲彦²、上野 祐子³、山口 真澄¹ (1.NTT物性研, NTT BMC、2.NTTリサーチ、3.中央大理工)

キーワード：グラフェン, 自己組立て, 三次元構造

誘電体薄膜と多層グラフェン、犠牲層の3 層構造の薄膜を基板上に形成後、犠牲層の除去により薄膜を自己的に円筒形に組み立てた。円筒形の薄膜は誘電体の膜厚により曲率半径が変わり、ラマンスペクトルは自己組立て前後でグラフェンの歪みがないことを示した。ドレイン電流特性はリニアであり、薄膜が多層グラフェンの半金属特性を反映した電気特性を示していることが分かった。