[9a-Z29-1~14] 17.2 グラフェン

[9a-Z29-2] 熱放射光学顕微法および放射光XPSによるグラフェンCVD成長における水素の効果のin-situ観測

〇平良 隆信¹、崔 永賢¹、土原 悠¹、向井 孝三¹、田中 駿介¹、吉信 淳¹ (1.東大物性研)

キーワード：グラフェン, 化学気相成長法, 放射光XPS

工業応用を目指したCu基板上のグラフェンCVD成長では原料ガスのCH₄とともにH₂を供給するが、H₂がグラフェン成長に与える効果は明らかでない。本研究では、熱放射光学顕微法によるグラフェンCVD成長のリアルタイム観察と、in-situ放射光XPSによるCVD停止後の基板測定を行い、H₂の効果を評価した。H₂有り・無しのCVDについて、光学観察とXPSのいずれの観測結果からも炭素量はH₂無しの条件の方が多く、H₂中加熱後は炭素量が減少した。