[9p-Z01-1~18] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

[9p-Z01-18] 機械学習によるInGaAs/InP量子井戸構造の成長シーケンス最適化

〇中尾 亮¹、若林 勇希²、大塚 琢馬³、大塚 卓哉¹、佐藤 具就¹、杉山 弘樹¹ (1.NTT先端集積デバイス研、2.NTT物性研、3.NTTコミュニケーション科学基礎研)

キーワード：結晶成長, 機械学習

機械学習によりMOCVD法による結晶成長条件の最適化を行った。