2020年第81回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » 透明結晶の機能性と科学 ~深紫外光源で創生されるエコシステム~

[9p-Z02-1~6] 透明結晶の機能性と科学 ~深紫外光源で創生されるエコシステム~

2020年9月9日(水) 13:30 〜 18:00 Z02

本田 善央(名大)、川上 養一(京大)

14:50 〜 15:30

[9p-Z02-3] 不純物混入と深紫外デバイス特性の相関

寒川 義裕1,2 (1.九大応力研、2.名大未来研)

キーワード:深紫外LD, 窒化アルミニウムガリウム

成膜プロセス中の意図しない不純物混入が深紫外AlGaNレーザのデバイス特性に与える影響をデバイスシミュレーション、プロセスシミュレーションにより議論する。