14:50 〜 15:30
[9p-Z02-3] 不純物混入と深紫外デバイス特性の相関
キーワード:深紫外LD, 窒化アルミニウムガリウム
成膜プロセス中の意図しない不純物混入が深紫外AlGaNレーザのデバイス特性に与える影響をデバイスシミュレーション、プロセスシミュレーションにより議論する。
シンポジウム(口頭講演)
シンポジウム » 透明結晶の機能性と科学 ~深紫外光源で創生されるエコシステム~
14:50 〜 15:30
キーワード:深紫外LD, 窒化アルミニウムガリウム