[9p-Z02-1~6] 透明結晶の機能性と科学　～深紫外光源で創生されるエコシステム～

[9p-Z02-3] 不純物混入と深紫外デバイス特性の相関

〇寒川 義裕^1,2 (1.九大応力研、2.名大未来研)

キーワード：深紫外LD, 窒化アルミニウムガリウム

成膜プロセス中の意図しない不純物混入が深紫外AlGaNレーザのデバイス特性に与える影響をデバイスシミュレーション、プロセスシミュレーションにより議論する。