[9p-Z05-1~14] 【CS.6】6.5 表面物理・真空と7.6 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

[9p-Z05-1] 高エネルギーO₂分子ビームに対するCu上グラフェンのバリア性能評価

〇小川 修一¹、Yamaguchi Hisato²、Holby Edward²、山田 貴壽³、吉越 章隆⁴、高桑 雄二¹ (1.東北大、2.Los Alamos Nat. Lab.、3.産総研、4.原子力機構)

キーワード：グラフェン, 超音速分子線, ガスバリア効果

グラフェンは優れた酸素バリア性能を持ち、金属腐食抑制や触媒保護膜への利用が期待されている。一方で高E_tO₂分子に対するグラフェンの酸化バリア性能は明らかになっておらず、グラフェンを酸化保護膜として長期間利用するために解明が不可欠である。そこで本研究ではO₂分子ビームをグラフェン/Cu基板に照射して下地Cuの酸化速度からグラフェンのO₂分子バリア性能のE_t依存を調べた。