[9p-Z05-1~14] 【CS.6】6.5 表面物理・真空と7.6 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

[9p-Z05-11] XPSデータセットの自動解析によるGaN初期酸化過程解析のハイスループット化

〇原田 善之¹、角谷 正友¹、篠塚 寛志¹、登坂 弘明¹、松波 成行¹、田沼 繁夫¹、吉川 英樹¹ (1.物材機構)

キーワード：X線光電子分光法, ベイズ情報量規準, データセット

NIMS-DPFCが開発しているデータセットの判読化のためのフォーマット変換および可視化の自動処理システムを用い、VAMASフォーマットで出力されたデータを数値データとメタデータに自動分離した。これにより、数百本ある一連のXPSスペクトル群をデータセット単位で自動分離した。その上で得られた数値データ群を、DPFCが開発したベイズ情報量基準を用いた自動ピーク解析プログラムを用いることで、解析者依存性を排除したピーク分離を行った。