[9p-Z05-1~14] 【CS.6】6.5 表面物理・真空と7.6 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

△ [9p-Z05-5] ナノビームRHEEDによるSi基板上マイクロ構造の局所表面構造解析

〇(M2)中塚 聡平¹、内藤 完¹、今泉 太志¹、虻川 匡司¹、江口 豊明²、服部 梓³、田中 秀和³、服部 賢⁴ (1.東北大多元研、2.東北大理、3.阪大産研、4.奈良先端大)

キーワード：RHEED, マイクロ構造, Si

Si(110)基板上に施された矩形マイクロ構造を通電加熱により100回程度フラッシングした結果、ロッドは矩形から丸みを帯びた形状へ変わった。我々の開発したSEMのナノ電子ビームとRHEEDを組み合わせた測定手法による観察の結果、ロッド表面は複数の結晶面で囲まれた構造へ変化したことが分かり、今回さらに実験装置を改良し各回折パターンのスポット強度から暗視野像を測定し、各結晶領域の可視化を実現した。