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[9p-Z09-4] Automatic sparse modeling of XPS spectrum using information criterion with estimation of confidence interval
Keywords:XPS, Spectral analysis, Information criterion
我々はこれまでに開発した低コストで実用的なスペクトル分解手法を発展させ,フィッティングパラメータの信頼区間も同時に推定する手法を開発した.様々な人工スペクトルデータに対してベイズ的スペクトル分解を行い,フィッティングパラメータの信頼区間を評価した.その結果から,パラメータの信頼区間とピーク間距離やS/N比との関係を表す一般的なモデル式を導出した.これが実スペクトルにも適用できることを確かめた.