2020年第81回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[9p-Z12-1~19] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2020年9月9日(水) 13:00 〜 18:00 Z12

澤野 憲太郎(都市大)、都甲 薫(筑波大)

14:30 〜 14:45

[9p-Z12-7] 固相成長における前駆体高密度化:GaAs薄膜への応用

斎藤 聖也1、西田 竹志1、末益 崇1、都甲 薫1 (1.筑波大院)

キーワード:ガリウムヒ素, 薄膜半導体, 固相成長