[9p-Z12-1~19] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[9p-Z12-7] 固相成長における前駆体高密度化：GaAs薄膜への応用

〇斎藤 聖也¹、西田 竹志¹、末益 崇¹、都甲 薫¹ (1.筑波大院)

キーワード：ガリウムヒ素, 薄膜半導体, 固相成長